匀胶机
调速范围和时间：
I档：50~10000转/分，时间0~999s
II档：50~10000转/分，时间0~999s
适用：直径5~100mm硅片及其他材料匀胶
转速稳定性：±1％
胶的均匀性：±2％
电极功率：40W，单相110~240V
真空泵抽气速率：＞60L/min
热板
温度：0~300℃
温度稳定性：±1℃
功率：850W
台面大小：200x200mm
SU8模具制备流程
一、备片
从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。
匀胶
1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；
将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um,光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）
桌面光刻机的作用主要是将芯片制造过程中的微小部分通过照相方法制作出来。使用这种方法，可以在方寸大小的面积内集成多达数千个微型元件的功能性电路，广泛应用于、等高科技领域以及消费电子产品中。这种设备对于普通消费者而言并不实用，但可以为那些需要精密加工和电子设计的工程师提供一定的帮助和学习价值。总的来说,它在提高技术知识和技能方面具有一定的意义。
以上信息由专业从事显影机的顶旭于2025/1/3 4:12:24发布
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